1 | Pressão máxima de trabalho 20,6 Mpa. |
2 | máx.temperatura de trabalho 204℃ (ambiente de alta temperatura até 454℃, neste momento o material de vedação é substituído por grafite expandido) |
3 | Sistema de filtragem Poluentes particulados, gases e líquidos são aplicáveis. |
4 | Precisão do filtro de filtro sinterizado de metalurgia do pó de aço inoxidável 2μm ~ 40μm |
5 | Fluxo do filtro 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | O filtro pode ser alterado. |
Características do produto do filtro
1 | Ampla faixa de aplicação, faixa de vazão de 15 a 300SL/min. |
2 | Possui boa compatibilidade com a maioria dos gases de processo semicondutores de alta pureza. |
3 | A capacidade de filtração de 3 nanopartículas mantém alta eficiência de fluxo e queda de pressão ultrapequena. |
4 | A superfície eletropolida 5Ra pode prevenir a poluição interna. |
5 | Asse com nitrogênio quente após água deionizada para atender aos padrões de processo de semicondutores. |
6 | Ambiente de fabricação, limpeza e embalagem de oficina asséptica sem poeira de 1000 níveis. |
7 | Teste para 100% de vazamento de hélio. |
Entrada | Saída | |
1 | Encaixe de tubo de 1/8″ | Encaixe de tubo de 1/8″ |
2 | Encaixe de tubo de 1/4″ | Encaixe de tubo de 1/4″ |
3 | Encaixe de tubo de 3/8" | Encaixe de tubo de 3/8" |
4 | Encaixe de tubo de 1/2″ | Encaixe de tubo de 1/2″ |
5 | encaixe de tubo de 6mm | encaixe de tubo de 6mm |
6 | Encaixe de tubo de 8MM | Encaixe de tubo de 8MM |
7 | encaixe de tubo de 10MM | encaixe de tubo de 10MM |
8 | Encaixe de tubo de 12MM | Encaixe de tubo de 12MM |
9 | 1/8″ Fêmea NPT | 1/8″ Fêmea NPT |
10 | 1/4″ Fêmea NPT | 1/4″ Fêmea NPT |
11 | NPT macho de 1/4" | NPT macho de 1/4" |
12 | NPT macho de 3/8" | NPT macho de 3/8" |
13 | NPT macho de 1/2″ | NPT macho de 1/2″ |
Parâmetros de desempenho do produto do filtro
1 | Precisão de filtragem | ≥0,0025μm | |
2 | Eficiência de filtragem | Taxa de remoção 99,99999% ≥0,0025μm | |
3 | Vazão nominal | 15 L/Min | |
4 | 60L/Min | ||
5 | 120 L/Min | ||
6 | 200L/Min | ||
7 | 300L/Min | ||
8 | Composição do filtro | elemento de filtro | 316L/PTFE |
9 | habitação | aço inoxidável 316L | |
10 | Condições de trabalho | Pressão máxima de entrada | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Pressão diferencial máxima | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Temperatura operacional máxima | 430 ℃ (gás inerte) | |
13 | Taxa de vazamento de hélio | 1 × 10-9 atm.cc/seg | |
14 | Acabamento de superfície | ≤Ra 5μin |