O uso de gases na indústria de semicondutores remonta ao início dos anos 1950 até 1960. Durante o processo de fabricação de semicondutores, os gases são usados principalmente para limpar e proteger os materiais semicondutores para garantir sua pureza e qualidade. Entre os gases mais usados estão nitrogênio e hidrogênio.
À medida que a tecnologia de semicondutores se desenvolveu e os processos de fabricação continuavam a melhorar, a demanda por gases aumentou. Em 1970, desenvolvimento adicional da tecnologia de fabricação de semicondutores, a aplicação de gases em processos -chave, como gravação e deposição de filmes finos, aumentou gradualmente, e os gases de fluoreto (por exemplo, SF6) e oxigênio tornaram -se gastos com gravação e deposição comumente usados. 1980 viu um aumento adicional na demanda por gases com o desenvolvimento de circuitos integrados e o aumento da demanda por eles. O hidrogênio foi amplamente utilizado no processo de fabricação, incluindo recozimento de hidrogênio e deposição de vapor de hidrogênio. E de 1990 até o presente, a demanda por gases de alta pureza e gases específicos aumentou à medida que os tamanhos dos dispositivos semicondutores continuaram a encolher e novos processos foram introduzidos. Por exemplo, a aplicação da litografia ultravioleta extrema (EUV) requer o uso de gases de pureza extremamente alta, como nitrogênio e hidrogênio.
O gás semicondutor continua aumentando com o desenvolvimento de produtos relacionados, impulsionados por mais e mais produtos, são revelados, enquanto o gás também pertence à fonte de perigo, de modo que os produtos usados para descompressão de gás, produtos de detecção de gás e impedem produtos de vazamento de gás emergidos, como reguladores de pressão, válvulas de gás, medidores de pressão, detector de vazamento de gás, etc., e suas válvulas de gás, o mais válvulas de gás, os medidores de pressão, o detector de vazamento de gás, etc.
Reguladores de pressão: os reguladores de pressão são dispositivos usados para controlar a pressão do gás. Eles geralmente consistem em uma válvula reguladora e um sensor de pressão. Os reguladores de pressão tomam uma entrada de gás de alta pressão e estabilizam a pressão do gás de saída ajustando a válvula para atender aos requisitos de aplicação específicos. Os reguladores de pressão são amplamente utilizados em áreas como indústria, fabricação e laboratórios, bem como na indústria de semicondutores, entre outros, para garantir a estabilidade e a segurança do suprimento de gás.
Válvulas de gás: As válvulas de gás são usadas para controlar o fluxo de gases e fechar passagens de gás. Eles geralmente têm uma função on/off que abre ou fecha o fluxo de gás. Existem vários tipos de válvulas de gás, incluindo válvulas manuais, válvulas elétricas e válvulas pneumáticas. Eles são amplamente utilizados em sistemas de gás para controlar o fluxo, a pressão e a taxa de fluxo dos gases.
Medimentos de pressão de gás: os manômetros de pressão do gás são usados para medir o nível de pressão de um gás. Eles geralmente são instalados em locais críticos em sistemas de gás para monitorar as alterações de pressão e garantir que estejam dentro dos limites seguros. Os manômetros de pressão de gás são amplamente utilizados na indústria, fabricação e laboratórios, e a indústria de semicondutores também está envolvida.
Detectores de vazamento de gás: Os detectores de vazamento de gás são usados para detectar vazamentos em sistemas de gás. Eles detectamA presença de vazamentos de gás e soa um alarme para que ações oportunas possam ser tomadas para evitar acidentes de vazamento. Os detectores de vazamentos de gás são amplamente utilizados em aplicações industriais, químicas, de petróleo e gás, e a indústria de semicondutores também esteve envolvida.
Horário de postagem: fevereiro-20-2024