O processo de produção de gases especializados eletrônicos inclui vários processos, como síntese, purificação, preenchimento, análise e teste, mistura e proporção. Para atender aos requisitos de fabricação de semicondutores a jusante para conteúdo de pureza e impureza, o processo de purificação é muito importante. Dependendo da composição do gás síntese a montante ou gás bruto, é realizada destilação de baixa temperatura ou purificação de vários estágios.
Requisitos de alta limpeza
O processo de preparação dos gases especiais eletrônicos pode ser dividido em dois blocos principais de preparação e purificação da síntese a montante, que pertencem ao processo de produção química. O tamanho do pipeline de produção é grande e não existe um requisito especial de limpeza. Após a purificação a jusante, o produto é preenchido com gás e misturado para preparação. O pipeline de produção é pequeno e possui requisitos de nível de limpeza. Ele precisa atender à especificação padrão do processo de fabricação de semicondutores.
Altos requisitos de vedação
Devido à sua atividade química, os gases especializados eletrônicos também fazem altas demandas sobre os materiais e a vedação do sistema de processo de produção. Assim como os requisitos da fabricação de semicondutores, ele impede o vazamento de interface causado pela introdução de impurezas ou corrosão de gases especiais. O sistema também pode ser usado para impedir a introdução de impurezas ou o vazamento de interface causado pela corrosão de gases especiais.
Requisitos de estabilidade de alta qualidade
A qualidade dos gases especializados eletrônicos inclui vários indicadores, como pureza e teor de partículas de impureza. Qualquer alteração nos indicadores afetará os resultados do processo de fabricação de semicondutores a jusante. Portanto, para garantir a consistência dos indicadores eletrônicos de produtos de gás especial, o sistema de processo de preparação para controlar a estabilidade dos indicadores também é muito importante.
Devido aos requisitos de atividade química e qualidade do EGP, o sistema de produção para a preparação do EGP, especialmente o sistema de purificação a jusante, deve atender aos requisitos de materiais de alta pureza, alta vedação, alta limpeza e consistência de alta qualidade e a construção de componentes projetados deve atender aos padrões da indústria de fabricação de semicondutores.
O que geralmente chamamos de “alta pureza” é teoricamente a definição de pureza de uma substância, como gases de alta pureza, produtos químicos de alta pureza, etc. Sistemas de processo ou componentes de sistemas de processo aplicados a substâncias de alta pureza também são chamados de alta pureza, como sistemas de alta pureza e valores de alta pureza. Os sistemas eletrônicos de preparação de gás especializados requerem acessórios de aplicações de alta pureza, válvulas e outros componentes de fluido, ou seja, acessórios e válvulas que são processados com materiais de alta pureza e processos de fabricação limpos e estruturados para facilitar a purga e a limpeza. Com alto desempenho de vedação. Esses componentes de fluido são projetados para atender ao caminho do fluxo do processo da aplicação, usando os requisitos de engenharia e construção da indústria de semicondutores.
Conexões de tubulação de alta pureza
As conexões de vedação de face de vedação de metal videocassete e as conexões automáticas de solda de guia são amplamente utilizadas em requisitos de processo de pureza do sistema de fluido exigentes devido à capacidade de atender à transição suave do caminho de fluxo na conexão, sem zona de estagnação e alto desempenho de vedação. A conexão repetível e consistente e o desempenho de vedação são garantidos cada vez que a junta deformada é removida e substituída.
Os tubos são soldados usando um sistema automático de soldagem orbital. O tubo é protegido por gás de alta pureza por dentro e por fora. O eletrodo de tungstênio gira ao longo da órbita para soldagem de alta qualidade. A soldagem orbital totalmente automatizada derrete o tubo sem introduzir outros materiais, é difícil alcançar uma solda de alta qualidade, controlando repetidamente o tubo de parede fina é difícil de alcançar com a soldagem manual.
Conexão de vedação de face a vedação de vedação de metal VCR
Conexão automática de soldagem orbital
Válvulas de alta pureza
A atividade química de gases especiais eletrônicos inflamáveis, explosivos, corrosivos e tóxicos coloca altas demandas na vedação da válvula. Para melhorar a confiabilidade de vedação, a exigência de válvulas sem embalagem para evitar vazamentos externos, ou seja, a operação de comutação da haste da válvula e o corpo da válvula entre a vedação usando fole de metal ou diafragma de metal, a fim de eliminar o vazamento devido à deformação de vedação de abrasão e empacotamento. As válvulas seladas e selações de diafragma são comumente usadas em sistemas de processo para aplicações de alta pureza, devido à maior confiabilidade dos selos e à limpeza mais fácil e substituição dos internos da válvula.
As válvulas seladas à sela são uma construção da válvula de agulha sem embalagem que permite a regulação lenta de abertura e fluxo. Usado para preenchimento eletrônico de gás especializado com requisitos de fluxo de segurança ou em garrafas de origem precursor com altos requisitos de segurança. As vedações de ponta do tronco total permitem temperaturas operacionais extremamente baixas e são usadas para liquefação criogênica de gases de especialidade eletrônica em tanques de produtos acabados após destilação criogênica para a tubulação.
A válvula de vedação de diafragma sem mola é uma válvula de Snap-Open de 1/4 ″ para uso como uma válvula de comutação controlada automaticamente na tubulação de entrega. Eles são comumente usados em aplicações de alta pressão e alta pureza devido ao seu caminho de fluxo interno simples, pequeno volume interno e facilidade de purga e substituição.
As válvulas seladas com diafragma que fecham através da ponta do caule podem se abrir lentamente e ser usadas a pressões operacionais mais altas do que as válvulas não esbanjadas por diafragma. Eles são amplamente utilizados em garrafas de preenchimento de gás especializado eletrônico de alta pressão ou precursoras.
A válvula de fole de vedação secundária pode não ser usada não apenas em sistemas de processo de temperatura ultra baixa a -200 graus, mas também evita o vazamento de meios perigosos para a atmosfera. Geralmente usado para gases especiais eletrônicos muito perigosos, como o sistema de enchimento de silano.
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Hora de postagem: Jul-19-2023