A tecnologia de tubulação de gases de alta pureza é uma parte importante do sistema de suprimento de gás de alta pureza, que é a principal tecnologia para fornecer o gás de alta pureza necessário ao ponto de uso e ainda manter a qualidade qualificada; A tecnologia de tubulação de gás de alta pureza inclui o design correto do sistema, a seleção de acessórios e acessórios, construção e instalação e teste. Nos últimos anos, os requisitos cada vez mais rigorosos sobre o conteúdo de pureza e impureza de gases de alta pureza na produção de produtos de microeletrônica representados por circuitos integrados em larga escala tornaram a tecnologia de tubulação de gases de alta pureza cada vez mais preocupada e enfatizada. A seguir, é apresentada uma breve visão geral da tubulação de gás de alta pureza da seleção de materialof construção, bem como aceitação e gerenciamento diário.
Tipos de gases comuns
Classificação de gases comuns na indústria eletrônica：
Gases comuns（Gás a granel): hidrogênio (h2), nitrogênio (n2), oxigênio (o2), argônio (a2), etc.
Gases especiaissão sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 SIHCL3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2O,F2,HF,Hbr sf6…… etc.
Os tipos de gases especiais geralmente podem ser classificados como corrosivosgás, tóxicogás, inflamávelgás, combustívelgás, inertegás, etc. Os gases de semicondutores comumente usados são geralmente classificados da seguinte forma.
(i) corrosivo / tóxicogás: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3… Etc.
(ii) Inflamabilidadegás: H2, Cap4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Cap3F, CO… etc.
(iii) Combustibilidadegás: O2, Cl2, N2O, nf3… Etc.
(iv) inertegás: N2, Cf.4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, kr, ele ... etc.
Muitos gases semicondutores são prejudiciais ao corpo humano. Em particular, alguns desses gases, como o SIH4 A combustão espontânea, desde que um vazamento reaja violentamente com o oxigênio no ar e comece a queimar; e cinzas3Altamente tóxico, qualquer pequeno vazamento pode causar o risco da vida humana, é por causa desses perigos óbvios; portanto, os requisitos para a segurança do design do sistema são particularmente altos.
Escopo de aplicação de gases
Como uma matéria -prima básica importante da indústria moderna, os produtos a gás são amplamente utilizados e um grande número de gases comuns ou gases especiais é usado em metalurgia, aço, petróleo, indústria química, máquinas, eletrônicos, vidro, cerâmica, materiais de construção, construção, processamento de alimentos, medicina e setores médicos. A aplicação do gás tem um impacto importante na alta tecnologia desses campos em particular e é seu gás indispensável de matéria -prima ou gás de processo. Somente com as necessidades e promoção de vários novos setores industriais e ciência e tecnologia modernas, os produtos da indústria a gás podem ser desenvolvidos por trancos e barrancos em termos de variedade, qualidade e quantidade.
Aplicação de gás na indústria de microeletrônicos e semicondutores
O uso do gás sempre desempenhou um papel importante no processo de semicondutores, especialmente o processo de semicondutores, tem sido amplamente utilizado em várias indústrias, desde o Ulsi tradicional, TFT-LCD até o atual micro-eletromecânico (MEMS), todos os quais usam o processo de semicondutores chamados como o processo de fabricação de produtos. A pureza do gás tem um impacto decisivo no desempenho de componentes e rendimentos de produtos, e a segurança do suprimento de gás está relacionada à saúde do pessoal e à segurança das operações da planta.
A significância da tubulação de alta pureza no transporte de gás de alta pureza
No processo de fusão de aço inoxidável e fabricação de material, cerca de 200g de gás podem ser absorvidos por tonelada. Após o processamento do aço inoxidável, não apenas sua superfície pegajosa com vários contaminantes, mas também em sua rede de metal também absorveu uma certa quantidade de gás. Quando há fluxo de ar através do oleoduto, o metal absorve essa parte do gás novamente o fluxo de ar, poluindo o gás puro. Quando o fluxo de ar no tubo é descontínuo, o tubo adsorve o gás sob pressão e, quando o fluxo de ar para de passar, o gás adsorvido pelo tubo forma uma queda de pressão para resolver, e o gás resolvido também entra no gás puro no tubo como impurezas. Ao mesmo tempo, a adsorção e a resolução são repetidas, de modo que o metal na superfície interna do tubo também produz uma certa quantidade de pó, e essas partículas de poeira de metal também poluem o gás puro dentro do tubo. Essa característica do tubo é essencial para garantir a pureza do gás transportado, que requer não apenas uma suavidade muito alta da superfície interna do tubo, mas também uma alta resistência ao desgaste.
Quando o gás com forte desempenho corrosivo é usado, os tubos de aço inoxidável resistentes à corrosão devem ser usados para a tubulação. Caso contrário, o tubo produzirá manchas de corrosão na superfície interna devido à corrosão e, em casos graves, haverá uma grande área de remoção de metal ou até perfuração, que contaminará o gás puro a ser distribuído.
A conexão de tubulações de transmissão e distribuição de gás de alta pureza e alta limpeza e taxas de fluxo grandes.
Em princípio, todos eles são soldados e os tubos utilizados são necessários para não ter alteração na organização quando a soldagem for aplicada. Os materiais com teor de carbono muito alto estão sujeitos à permeabilidade do ar das peças soldadas quando a soldagem, o que torna a penetração mútua de gases dentro e fora do tubo e destrói a pureza, a secura e a limpeza do gás transmitido, resultando na perda de todos os nossos esforços.
Em resumo, para gasoduto de transmissão de gás e gás especial de alta pureza, é necessário usar um tratamento especial do tubo de aço inoxidável de alta pureza, para criar um sistema de oleodutos de alta pureza (incluindo tubos, acessórios, válvulas, VMB, VMP) na distribuição de gás de alta pureza ocupa uma missão vital.
Conceito geral de tecnologia limpa para pipelines de transmissão e distribuição
A transmissão do corpo de gás altamente pura e limpa com tubulação significa que existem certos requisitos ou controles para três aspectos do gás a serem transportados.
Pureza do gás: o conteúdo da atmosfera de impureza na pureza do GGAS: o conteúdo da atmosfera de impureza no gás, geralmente expressa como uma porcentagem de pureza do gás, como 99,9999%, também expressa como a razão de volume do conteúdo de atmosfera de impureza PPM, PPB, PPT.
Secura: a quantidade de umidade de traços no gás, ou a quantidade chamada de umidade, geralmente expressa em termos de ponto de orvalho, como o ponto de orvalho da pressão atmosférica -70. C.
Limpeza: O número de partículas contaminantes contidas no gás, tamanho das partículas de µm, quantas partículas/m3 para expressar, para ar comprimido, geralmente também expressas em termos de quantos mg/m3 de resíduos sólidos inevitáveis, que cobrem o teor de óleo.
Classificação de tamanho de poluente: partículas de poluentes, refere-se principalmente a limpeza de oleodutos, desgaste, corrosão gerada por partículas de metal, partículas de fuligem atmosférica, bem como microorganismos, fagos e gotículas de condensação de gás contendo umidade, de acordo com o tamanho de seu tamanho de partícula é dividido em divididos em divididos em se dividir em
a) Partículas grandes - tamanho de partícula acima de 5μm
b) Partícula-diâmetro do material entre 0,1μm-5μm
c) Partículas Ultra-Micro-Tamanho da partícula menor que 0,1μm.
Para melhorar a aplicação dessa tecnologia, para poder entender o tamanho das partículas e as unidades de μm, um conjunto de status de partícula específico é fornecido para referência
A seguir, é apresentada uma comparação de partículas específicas
| Nome /tamanho de partícula (µm) | Nome /tamanho de partícula (µm) | Nome/ tamanho de partícula (µm) |
| Vírus 0,003-0.0 | Aerossol 0,03-1 | Microdroplet em aerossol 1-12 |
| Combustível nuclear 0,01-0.1 | Pintura 0,1-6 | As cinzas volantes 1-200 |
| Black de carbono 0,01-0.3 | Leite em pó 0,1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0,01-1 | Bactérias 0,3-30 | Dust de cimento 5-100 |
| Fumaça de cigarro 0,01-1 | Pó de areia 0,5-5 | Pólen 10-15 |
| Silicone 0,02-0.1 | Pesticida 0,5-10 | Cabelo humano 50-120 |
| Sal cristalizado 0,03-0,5 | Poeira de enxofre concentrada 1-11 | Areia do mar 100-1200 |
Hora de postagem: Jun-14-2022